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日本日立熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000概述
此次推出的SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測(cè)器，使得對(duì)二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)的檢測(cè)以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)不同的觀察信號(hào)來(lái)調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡(jiǎn)稱(chēng)WD)，以獲得最佳的觀察與分析條件，而SU7000通過(guò)新研發(fā)的樣品倉(cāng)以及檢測(cè)器系統(tǒng)，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號(hào)，縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間，提高了測(cè)試效率。 而且，SU7000還配置了可同時(shí)6通道顯示界面(前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道)，進(jìn)一步升級(jí)電鏡控制系統(tǒng)，大幅提高了信號(hào)獲取速度，由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高效率觀察。它還標(biāo)配超大樣品倉(cāng)，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣?品的觀察與分析。主要特點(diǎn)：在相同的WD條件下，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析。可同時(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測(cè)與顯示;成像分辨率最大可達(dá)10240×7680像素;配置18個(gè)附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察;(選配)
日本日立熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000特點(diǎn)
★ 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
★ 采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng)，SU7000特新增了幾種探測(cè)器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的樶大化。
★ 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
?大型樣品觀察
?低真空觀察
?超低溫觀察
?實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉(cāng)和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是一ying俱全。
★ 支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍?zhuān)畲笫骺蛇_(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉(cāng)形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過(guò)選配附件滿足各種特殊需求。
成像能力
追求信息樶大化的檢測(cè)系統(tǒng)
隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測(cè)系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。
同一條件觀察
樣品：包裹有機(jī)物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 (加速電壓：1 kV)
通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào)，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的樶大化。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)
優(yōu)化信號(hào)顯示功能
成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級(jí)。
用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場(chǎng)角和通道數(shù)。
單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。
導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉(cāng)內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。
使用雙屏顯示時(shí)，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個(gè)顯示屏專(zhuān)門(mén)用來(lái)顯示信號(hào)，最多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。
高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫(huà)面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專(zhuān)門(mén)用來(lái)顯示圖像，2nd顯示屏用來(lái)顯示操作面板畫(huà)面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過(guò)SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫(huà)面中顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。
可擴(kuò)展觀察和分析方法
樣品倉(cāng)和馬達(dá)臺(tái)
樣品倉(cāng)外觀
標(biāo)配18個(gè)附件接口
馬達(dá)臺(tái)外觀
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm
樣品倉(cāng)可搭載最大直徑為φ 200 mm;最高80 mm的樣品。大開(kāi)倉(cāng)設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸最大移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*不成問(wèn)題。
相機(jī)導(dǎo)航功能(*)
通過(guò)相機(jī)拍攝樣品 將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫(huà)面上進(jìn)行導(dǎo)航
SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉(cāng)內(nèi)，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫(huà)面(SEM MAP)窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。最大適用尺寸為φ 100 mm。
(*)
可選配相機(jī)。
支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)
SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED(背散射電子探測(cè)器)、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。
低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
左圖為通過(guò)MD(背散射電子)，右圖為通過(guò)UVD(二次電子)探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應(yīng)速度提高左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像;右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫(huà)質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。
(**)
可選配PD-BSED、UVD。
